檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "黃鶯聲".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="化學氣相沉積法"
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最理想化的六角形陣列之奈米碳管束使用熱化學氣相沉積法合成，為了增強奈米碳管的電子場發射特性，針形狀的二氧化釕與錐形狀的氧化鋅奈米結構分別使用金屬有機化學氣相沉積法與熱化學氣相沉積法成長於奈米碳管的表…
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本篇論文主要研究方向在使用以醋酸鋅為蒸發源的化學氣相沉積法製作氧化鋅薄膜。以不同的氣體當載氣（氧氣和氬氣）和控制不同成長溫度來製造氧化鋅薄膜於矽基板上。薄膜分析以掃描電子顯微鏡、X光繞射譜線、拉曼散…
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本論文成功利用熱化學氣相沉積法成長奈米碳管並作為超級電容之材料。為了增加電容量，本實驗在奈米碳管成長時加入氨氣，使氮摻雜於奈米碳管之中；再利用金屬有機化學氣相沉積系統，於奈米碳管外成長二氧化釕奈米結…